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產(chǎn)品型號：JL-E30
設備功能：對外延片、晶圓、塑料、金屬材料等，進行介質(zhì)刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕，實現(xiàn)各項異性刻蝕，保證細小圖形轉(zhuǎn)移后的保真性。
產(chǎn)品應用：適用于所有的基材及復雜的幾何構(gòu)形都可以進行等離子體活化、刻蝕、清洗、鍍膜。
技術(shù)參數(shù)：
型 號 | JL-E30 | ||
等離子源系統(tǒng) | 頻 率 | 13.56MHz 射頻 | |
功 率 | 0~500W 可調(diào) | ||
真空系統(tǒng) | 真空腔體 | 材質(zhì) | 石英、航空鋁（選配） |
腔體內(nèi)部尺寸(MM) | 400*200*400 | ||
腔體容積 | 30L | ||
極板 | 1層 | ||
密封性 | 軍工級焊接密封 | ||
泵 | 真空泵 | 干泵 | |
真空管路 | 不銹鋼管、不銹鋼波紋管 | ||
真空計 | 薄膜硅 | ||
氣體流量計 | ＜±1% FS | ||
氣路控制 | 2路處理氣體氣路，氣體流量可調(diào) | ||
極限真空 | 3Pa | ||
適用氣體 | 流量范圍 | 0-500SCCM（可調(diào)） | |
工藝氣體 | Ar、N?O?、H?等等（可選） | ||
控制系統(tǒng) | 1、PLC 自動控制； | ||
2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面； | |||
3、配方程序為 0~99； | |||
4、多級權(quán)限操作； | |||
5、圖形化曲線圖自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)及錯誤信息； | |||
6、存儲工藝數(shù)據(jù)及錯誤信息； | |||
7、報警信息提示及追溯； | |||
8、圖形化界面檢測處理參數(shù)； | |||
9、自動、手動操作可切換； | |||
10、維護提示緊急停止按鈕； | |||
11、門感應器和真空互鎖； | |||
12、機器運行信號指示； | |||
13、機器運行結(jié)束提示； | |||
外觀參數(shù) | 外形尺寸(MM) | 640*1700*840 (寬高深） | |
重 量 | 280KG | ||
設施配置 | 電 力 | 五線，三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規(guī)范》等國標標準相關(guān)規(guī)定。 | |
壓縮空氣 | 干燥壓縮空氣CDA。 | ||
其 它 | 提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊，易損件備件清單。 | ||
設備優(yōu)勢：
1、小技巧、操作簡單、易維護。
2、引進德國核心等離子技術(shù)，質(zhì)量有保障。
3、進口針閥精密流量控制計，精度高。
4、材質(zhì)耐腐蝕，環(huán)保不產(chǎn)生金屬污染。
5、多路工藝反應氣體通道，保證產(chǎn)品清洗效果。
6、可以根據(jù)客戶需求定制。
設備訂購：
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